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    多元復合碳化物涂層的制備方法

    858   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:44:46
    本發明涉及一種多元復合碳化物涂層的制備方法。它依次包括：（1）將TaCl5、HfCl4和ZrCl4混合粉末，在惰性氣氛下盛裝入坩堝內；（2）將基體樣品放置在沉積爐支架上，并通入氬氣，加熱到沉積溫度；（3）將盛有混合粉末的坩堝放入雙溫區氣化爐中的低溫區的升降支架上，使坩堝口部與高溫區連通，設定低、高溫區的加熱溫度，加熱使混合粉末完全氣化；（4）向沉積爐內通入H2、CH4，并以運載氣體將完全氣化后的混合氣體通入沉積爐內，在常壓條件下進行沉積。該制備方法能獲得各組成化學計量比準確的多元復合涂層，且能保證涂層與基體材料結合緊密牢固、穩定性能優異。
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    “多元復合碳化物涂層的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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