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    裝有保溫內桶的周期交替操作的多晶硅還原爐及操作方法

    779   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:44:47
    本發明公開了一種裝有保溫內桶的周期交替操作的多晶硅還原爐，在還原爐內安裝保溫內桶，保溫內桶為圓柱狀，桶頂在與底盤通氣口對應的位置開有小孔，保溫內桶的材料為碳-碳復合材料，不銹鋼或者石墨，保溫內桶的外徑較還原爐內壁直徑小10-30cm，保溫內桶高度較硅棒高度高約10-50cm，內桶的壁厚為5-10cm，通過螺栓固定在底盤上。保溫內桶的外壁連接有不銹鋼板或者石墨板，不銹鋼或石墨板沿保溫內桶外壁從保溫內桶底部盤旋至保溫內桶頂部呈螺旋狀，螺距為500cm-1500cm，不銹鋼或石墨板的寬為5cm-30cm，不銹鋼或石墨板的厚度為5-20mm。保溫內桶本身具有隔熱的作用，以及環隙氣體與保溫內桶內的氣體形成對流傳熱有利于氣體對熱量的吸收，使得鐘罩內壁的溫度低于575℃，有利于壁面的保護。
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