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    具有石墨烯電極的GaN基半導體器件及其制備方法

    751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:45:19
    本發明公開了一種具有石墨烯電極的GaN基半導體器件，由襯底、緩沖層、N型半導體層、有源層、P型半導體層、石墨烯薄膜層和金屬電極結合形成，P型半導體層為含GaN的復合材料層，石墨烯薄膜層設有貫穿的孔道，使金屬電極穿過石墨烯薄膜層與P型半導體層固定連接，形成石墨烯薄膜層的焊盤，使石墨烯薄膜層固定結合在P型半導體層上，形成復合電極。本發明采用MO源作為催化劑與碳源的前驅體，在現有GaN外延工藝及設備的情況下實現了低溫石墨烯電極的自生長，并可通過對金屬圖形的控制，進一步改善電流分布，提高了器件的出光與散熱性能。
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