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    復合圖形化襯底的制備方法

    1061   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:45:54
    本發明公開了一種復合圖形化襯底的制備方法，包括以下步驟：S1：制備藍寶石基礎襯底；S2：在S1步驟中制備的藍寶石基礎襯底表面固定支撐體，再在支撐體表面鍍金屬合金層，去除氧化膜，去除支撐體，即得空腔結構的藍寶石襯底；S3：在藍寶石襯底的空腔中填充納米復合材料，同時在金屬合金層外表面形成AlN層；S4：在AlN層上進行光刻膠、堅膜以及兩次ICP刻蝕處理；S5：清洗掉剩下的光刻膠，即得復合圖形化襯底。本發明提出的制備方法簡單、易操作，制得的復合圖形化襯底晶體質量高，光的出射強，襯底整體的重量輕，生產成本低，基礎襯底與GaN材料的溫差小，晶體的性能穩定，晶格失配率低，MOCVD的使用效率高。
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    聲明：
    “復合圖形化襯底的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    復合材料
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