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    寬域型氧傳感器片芯及其制造方法

    1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:46:44
    本發明公開了一種寬域型氧傳感器片芯及其制造方法。其片芯依次為它由多孔陶瓷保護層（1），泵電池上電極（2），泵電池介質層（3），泵電池參考電極（4），參考電池介質層（5），參考電池電極層（6），參考氣室層（7），梯度連接層（8），上基板層（9），加熱電路層（10）和下基板層（11）依次相疊構成；梯度連接層（8）采用梯度復合材料過渡技術，有效地解決了異質材料間的結合問題；泵電池介質層上有一擴散孔及上下相對應的環形電極；參考電池介質層上有一擴散小腔，擴散小腔內采用多孔陶瓷填料支撐技術，確保了腔體的形成和信號的靈敏度；各層采用流延成型和絲網印刷相結合方式，依次定位、疊壓和切割，制成氧傳感器片芯胚體，燒結制成致密的氧傳感器片芯。
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    聲明：
    “寬域型氧傳感器片芯及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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