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    高效、穩定的超薄柔性太赫茲屏蔽材料的制備方法

    853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:46:46
    本發明涉及一種高效、穩定的超薄柔性太赫茲屏蔽材料的制備方法。制備步驟：首先在金屬基底上通過化學氣相沉積法在其表面生長石墨烯；然后在生長有石墨烯的金屬基底上涂覆一層轉移媒介；接著將金屬基底用刻蝕液去除，剩下轉移媒介支撐的石墨烯；之后在聚合物基底上沉積一層金屬薄膜；然后將轉移媒介支撐的石墨烯轉移到聚合物基底上沉積的金屬薄膜上，并將支撐石墨烯的轉移媒介去除；接著交替重復以上金屬薄膜的沉積和石墨烯的轉移步驟，以得到層層組裝的金屬/石墨烯復合材料。本發明的金屬/石墨烯層層組裝太赫茲屏蔽材料厚度小、屏蔽效能高、柔性良好、穩定性高，在微電子器件和柔性電子設備的太赫茲屏蔽領域內具有廣闊前景。
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