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    用于石墨烯生長的工藝腔

    1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:48:45
    本發明公開了一種用于石墨烯生長的工藝腔，用于生產石墨烯薄膜，包括腔體，所述腔體的上端和下端的內壁上均設有一環形安裝槽，每個所述環形安裝槽中均設有耐高溫碳碳材料圓筒。本發明中，由于腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒，碳碳材料容易吸附銅及黑色炭殘留物，腔體長時間使用后銅及黑色炭殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上，當腔體使用40天至50天后，拆掉耐高溫碳碳材料圓筒，安裝新的耐高溫碳碳復合材料圓筒，工藝腔可以恢復生產，工藝腔的清洗間隔周期延長，清洗過程時間縮短。
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    聲明：
    “用于石墨烯生長的工藝腔” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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