本發明提供一種高靈敏度柔性壓力傳感器及其制備方法,包括上電極、壓敏層、下電極,所述上電極、下電極為鍍有銅的柔性PC板電極,所述壓敏層是由兩層帶有微結構的碳納米管(CNTs)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)復合材料薄膜“面對面”封裝組成。本發明公開的一種高靈敏度柔性壓力傳感器及其制備方法,工藝簡單、成本低廉、靈敏度高、響應速度快,且穩定性好。
聲明:
“高靈敏度柔性壓力傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)