本發明提供一種碲化鉍基合金薄膜?鈣鈦礦型氧化物異質結復合熱電材料及其制備與應用,該方法包括以下過程:第一步通過高溫還原過程處理鈣鈦礦型氧化物襯底,使襯底由絕緣體變為表面導電狀態;第二步通過磁控濺射的方法在襯底表面生長碲化鉍基合金薄膜,制備成異質結。該方法可以結合鈣鈦礦型氧化物襯底大的塞貝克系數和碲化鉍基合金薄膜優良的導電性能,制備出高塞貝克系數和低內阻的復合材料。本發明為改善薄膜熱電材料性能、提高薄膜熱電器件的性能提供了一種高效便捷的工藝思路。
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“碲化鉍基合金薄膜-鈣鈦礦型氧化物異質結復合熱電材料及其制備與應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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