本實用新型涉及一種復合型碳化硅板,主要是解 決普通碳化硅板在強氧化環境中易被氧化、影響使用壽命的問 題。它包括碳化硅基板,其特征在于碳化硅基板表面上壓制一 層由復合材料構成的復合層。復合層與SiC層結合面粗糙,互 相滲入。復合層的主要成分為輕燒α- Al2O3、ZrO2。本實用新型中的復 合層在燒成溫度、熱膨脹系數、燒成線變化等諸多方面與SiC 基板相同或相近,在高溫(1400℃)室溫的變化中不會脫落、剝 離,達到與基板共壽命,并保護SiC基板不被氧化。
聲明:
“復合型碳化硅板” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)