本實用新型公開了一種單晶硅生長爐用保溫隔熱筒,其包括外保溫筒,其特征在于,在所述外保溫筒的內壁設有內隔熱屏,所述內隔熱屏由炭/炭復合材料制成。所述內隔熱屏包括依次套接的至少兩個以上的分段隔熱屏。所述各分段隔熱屏之間設有止口或坡口連接結構,所述各分段隔熱屏之間還可以通過連接環連接。優選方案是所述內隔熱屏包括三個分段隔熱屏,依次為上段隔熱屏、中段隔熱屏及下段隔熱屏,所述下段隔熱屏上設有通孔,所述外保溫筒由石墨氈或炭氈制成。本實用新型用于單晶硅生長爐具有較高的高溫強度,和較低的熱導系數。不僅降低了保溫隔熱筒厚度,而且降低了保溫隔熱筒的更換成本。
聲明:
“單晶硅生長爐用保溫隔熱筒” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)