本實用新型公開了一種直拉單晶爐用組合坩堝,是一種用于承托石英坩堝的組合坩堝。其包括圓盤狀的石墨材質的底座(1),設在底座(1)上與底座(1)配合的由炭/炭復合材料制成的圓筒狀的筒體(3),在筒體(3)與底座(1)形成的空腔底部設有石墨材質的墊塊(2),所述墊塊(2)沿周向由至少兩瓣組成,墊塊(2)具有與單晶爐的石英坩堝堝底相配合的凹形曲面。本實用新型具有強度高、使用壽命長、加工簡單,制造成本低的優點。
聲明:
“直拉單晶爐用組合坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)