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    雙行程混合驅動微納米壓痕/劃痕測試裝置

    1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:58:23
    本實用新型涉及一種雙行程混合驅動微納米壓痕/劃痕測試裝置，屬于精密傳感器及精密儀器技術領域。由混合驅動單元、載荷檢測與量程切換單元、位移檢測單元、樣品移動單元、基座、支撐板和導軌滑塊組件組成。本實用新型利用音圈電機、壓電疊堆?柔性鉸鏈實現混合驅動，通過調整屏蔽罩（架）與力傳感器裝配關系，采用分段載荷檢測與量程切換方式，結合位移檢測單元可實現不同加載行程和壓入載荷的精確測量，并集成樣品移動單元用于實現對樣品的壓入位置更換以及劃痕測試。采用模塊化設計思路，結構緊湊，安全可靠，既可實現對塊狀金屬材料、薄膜材料及復合材料等常規納米壓痕/劃痕測試，又可對生物組織等軟材料進行大行程加載測試，實用性更強。
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