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    磁電天線的層合結構

    978   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:58:23
    本實用新型公開的磁電天線的層合結構，包括Si襯底，Si襯底上依次連接有Mo電極層、AIN壓電層和FeGa磁致伸縮層，Si襯底與Mo電極層接觸面之間開有空氣槽。本實用新型采用2?2層疊型磁電復合材料較其他結構類型具有低漏電、易合成、磁電耦合能力強的優點；本實用新型采用空氣隙型FBAR作為諧振結構，機械牢度更好，制備時更易達到精度要求。
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    “磁電天線的層合結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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