本實用新型公開一種單晶爐用組合坩堝,包括相互扣合的堝筒和堝碗,所述堝筒包括上堝環、下堝環、N根堝條以及2N個緊固件,N根所述堝條的兩端分別可拆卸的連接所述上堝環和下堝環并形成筒狀結構,相鄰兩根所述堝條之間具有間隙,所述下堝環可拆卸的連接堝碗;其中N個所述緊固件連接所述上堝環與堝條的一端,另外N個所述緊固件連接所述下堝環與堝條的另一端。本實用新型采用上堝環、下堝環、多條堝條以及緊固件實現堝筒的整體結構設計,結構簡單,安裝拆卸方便;在制造半導體硅單晶的過程中出現堝筒局部破損或失效時,只需更換部分堝條或上堝環、下堝環,而不會造成整個坩堝報廢,節約了碳?碳復合材料資源,降低了半導體硅單晶的生產成本。
聲明:
“單晶爐用組合坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)