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    分流式CVD沉積室

    950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:59:50
    本實用新型分流式CVD沉積室涉及復合材料制備領域，具體涉及化學氣相沉積，特別涉及一種分流式CVD沉積室，包括中空的沉積室筒體和進氣室，所述進氣室內設置有一進氣管，沉積室筒體的一端與進氣室相連，另一端上設置有一沉積室蓋，所述沉積室蓋上設置有一出氣口，所述分氣板上均布有若干個進氣孔，所述分氣板上還設置有一引氣裝置，氣體提升裝置設置在分氣板上，且通過分氣板上的進氣孔與進氣室相連；氣體分布裝置位于氣體提升裝置上方。本實用新型結構簡單，沉積效率高、制品增密快，利用氣體提升裝置和氣體分布裝置將進氣管中的氣流提升，有效解決因高度不同而帶來的制品增密情況不均勻的問題，且生產效率高，降低生產成本。
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    “分流式CVD沉積室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    復合材料
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