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    基于磁電效應的聲表面波磁傳感器

    1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 18:01:57
    本實用新型聲表面波磁傳感器利用磁電復合材料的諧振頻率隨磁場而變化的或特性測量磁場，其所述壓電薄膜遠離叉指電極的方向還設置有磁致伸縮薄膜、鐵磁或反鐵磁層和襯底基片，所述鐵磁或反鐵磁層位于所述磁致伸縮薄膜和襯底基片之間形成一堆棧結構。本實用新型的磁傳感器具有高靈敏度、高分辨率、易于微型化、與MEMS和CMOS等工藝相兼容、功耗和成本低、驅動電路簡單等優點，可辨別外磁場的方向，而且直接輸出數字信號，可與現代數字系統直接通訊，無須連接模/數轉換器。
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