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    納米硅薄膜太陽能電池橢園偏振光實時監控制備方法

    1080   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:19:42
    一種納米硅薄膜太陽能電池橢園偏振光實時監控制備方法，它有五大步驟：一、采用濕化學法對單晶硅片進行各向異性腐蝕，獲得金字塔狀的絨面硅片襯底；二、采用熱蒸發方法或磁控濺射方法制備納米硅薄膜太陽能電池的背電極；三：采用等離子體增強化學氣相沉積法，通入硅烷SiH4制備I層納米硅薄膜，通入硅烷SiH4和磷烷PH3混合氣體制備N層納米硅薄膜，通入硅烷SiH4和硼烷B2H5混合氣體制備P層納米硅薄膜；四、在步驟三沉積納米硅薄膜過程中，采用橢園偏振光實時監控薄膜的生長；五、采用熱蒸發方法或磁控濺射方法或絲網印刷技術制備納米硅薄膜太陽能電池的透明導電膜電極和上電極。它在光電應用和新能源技術領域里具有良好的應用前景。
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