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    偏轉可控的MEMS微型反射鏡結構

    1128   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 20:19:42
    本發明公開了一種偏轉可控的MEMS微型反射鏡結構,包括襯底層、鏡片層和犧牲層,犧牲層圖形化沉積與消除后,鏡片層與襯底層部分相連,部分懸空,襯底層包括襯底材料、襯底導電層、襯底圖形化金屬層和襯底保護層,鏡片層包括鏡片承載層、鏡片金屬層和鏡片補償層,襯底圖形化金屬層、鏡片金屬層與引線接口相連,基于本發明結構制造的光調配器件,能夠實現光線聚焦、反射、散射等多種功能,本發明可應用于太陽光平面聚焦、智能門窗陽光調節、光開關等多個領域,在新能源利用及綠色環保方面有著非常好的應用前景。
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    “偏轉可控的MEMS微型反射鏡結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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