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    全氮化鈦集流體/電極超級電容器及其制備方法

    1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:23:46
    一種全氮化鈦集流體/電極超級電容器及其制備方法，屬于新能源材料與器件技術領域。首先，清洗去除襯底表面的雜質；然后在襯底表面沉積一層具有高致密度、高導電性的TiN薄膜作為電子輸運集流體材料，再通過調控沉積工藝參數改變薄膜表面原子擴散和形核生長等機制，在集流體上直接繼續生長一層疏松多孔、低導電性的TiN薄膜作為電極材料。本發明集流體和電極同為TiN連續生長，通過簡單地改變薄膜沉積工藝參數對材料的性能進行剪裁，工藝簡便易行、成本低，薄膜沉積技術選擇種類多、工藝適用性強，解決了異類集流體和電極材料間附著力差、晶格失配和熱膨脹系數差異導致分層開裂以及接觸電阻大的問題，將極大提高超級電容器的功率密度、熱穩定性和長期服役可靠性。
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    新能源
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