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    同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點的方法及設備

    818   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:25:16
    本發明實施例公開了一種同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點的方法及設備，涉及新能源技術領域，便于量子點的產業化和大規模應用。本發明包括：將樣品基底放入反應腔體內，啟動真空系統對反應腔體抽真空；向反應腔體輸入?OH有機物氣體作為?OH等離子氣體源；啟動激光加工頭掃描樣品基底的表面；啟動激光加工頭再次對樣品基底的表面進行掃描；向反應腔體輸入驅體氣體，并啟動激光加工頭掃描樣品基底的表面進行加熱；向反應腔體輸入O源前驅體，啟動激光加工頭加熱樣品基底的表面，使表面吸附的源前驅體與輸入的O源前驅體發生化學反應，生成量子點陣列。本發明適用于制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點。
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    “同腔制造氧化鋅、氧化鈦和氧化鎳量子點的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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