本發明公開了一種太陽能電池吸收層薄膜制造方法,它涉及新能源技術領域。包括以下步驟:襯底的準備,將銅、鋅、錫三種元素沉積于所述襯底表面,以形成銅鋅錫前驅體;將硫元素沉積于所述銅鋅錫前驅體表面,形成堆疊式銅鋅錫硫前驅體;將堆疊式銅鋅錫硫前驅體置于真空環境中,并通入由保護氣體和硫化氫氣體組成的混合氣體;將上述堆疊式銅鋅錫硫前驅體從室溫升溫至600?650℃,自然冷卻至室溫,得到銅鋅錫硫太陽能電池吸收層薄膜。本發明的優點在于:將銅、鋅、錫三種元素沉積于襯底表面,以形成銅鋅錫前驅體,再將硫元素沉積于銅鋅錫前驅體表面,形成堆疊式銅鋅錫硫前驅體,制備工藝簡單,制造方便,且銅鋅錫硫薄膜太陽電池的轉換效率提高。
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“太陽能電池吸收層薄膜制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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