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    鈦酸鍶鋇納米顆粒修飾二氧化鈦薄膜氫氣傳感器的制備方法

    851   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:28:05
    本發明提出了一種鈦酸鍶鋇納米顆粒修飾二氧化鈦薄膜氫氣傳感器及制備方法，采用磁控濺射法、旋涂法和水熱法相結合，通過調控旋涂鈦酸鍶鋇納米顆粒的尺寸和分散性來實現對二氧化鈦薄膜表面的修飾。在FTO襯底上用磁控濺射法制備二氧化鈦籽晶層，用水熱法在有籽晶層上制備二氧化鈦薄膜，再采用旋涂法將預先用水熱法制備的鈦酸鍶鋇納米顆粒旋涂在二氧化鈦薄膜的表面，每步制備后進行退火處理，最后用磁控濺射法在其表面制備金屬鉑電極。經鈦酸鍶鋇納米顆粒修飾的二氧化鈦薄膜室溫下氫氣探測的靈敏度顯著提高。本發明制備成本低，方法簡單易操作，制得的氫氣傳感器在室溫下對氫氣探測靈敏度高，重復性好，穩定性好，可廣泛應用于氫氣新能源領域。
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