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    熱分解制備二氧化硅鈍化層的方法

    1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:29:55
    本發明屬于新能源領域，具體涉及一種熱分解制備二氧化硅鈍化層的方法。將偏硅酸、蟲膠、稀釋劑混合而成的粘稠狀膠液均勻涂刷在擴散后的硅片表面并烘干，再將該硅片于高溫的惰性氣體環境中放置一段時間后，即完成硅片表面的鈍化。蟲膠在自身受熱分解的過程中促進了偏硅酸分解所得的二氧化硅與硅片基底的相容程度，防止所生成的二氧化硅脫落，提高了鈍化層的結合力和穩定性。
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    聲明：
    “熱分解制備二氧化硅鈍化層的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    新能源
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