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    鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負極材料的制備方法

    792   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:31:41
    一種鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負極材料的制備方法，屬于新能源材料領域。熱處理后的二氧化鈦納米管陣列作為基體，經過抽真空、加熱、預濺射、濺射后，冷卻至40～80℃取出，其中濺射為：打開射頻電源濺射硅；濺射過程中基體加熱，完成后冷卻至40～80℃后取出樣品。將其作為負極載體材料，采用磁控濺射技術將硅濺射到二氧化鈦納米管薄膜表面和內部，沉積效率高，方法簡便，重復性好。
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