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    高比表面積的TiN電極、制備方法及其應用

    874   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:32:59
    本發明屬于新能源技術領域，提供一種高比表面積的TiN電極、制備方法及其應用。主要是通過硅片制絨工藝對硅襯底表面進行粗糙化處理，在襯底材料表面形成由多個密排微米級金字塔組成的微觀粗糙結構，使沉積在襯底上的TiN電極的比表面積增大，導致其電化學電容性能顯著提高。這種高比表面積的TiN電極具有廣闊的應用前景，例如，可用作微型超級電容器的電極材料。本發明能夠保證其他工藝過程不變的條件下，克服了原來光滑電極電容性差、活性低等缺點，此制造技術與微電子工藝兼容，方法簡便可行，成本低廉，且經濟效益顯著。
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    “高比表面積的TiN電極、制備方法及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    新能源
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