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    MEMS慣性傳感器、慣性測量單元及慣性導航系統

    787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:33:52
    本申請提供了一種MEMS慣性傳感器，可用于智能汽車、新能源汽車、傳統汽車、高鐵列車、無人機、智能機器人、攝像穩定平臺、智能手機等載體中。所述MEMS慣性傳感器包括：襯底；傳感組件，所述傳感組件包括MEMS懸浮框架，以及，內嵌于所述MEMS懸浮框架內的MEMS功能結構；第一支撐臂，所述第一支撐臂分別與所述MEMS懸浮框架和所述襯底固定連接，所述第一支撐臂用于使所述傳感組件懸浮于所述襯底上。本申請提供的MEMS慣性傳感器能夠阻斷封裝應力通過襯底、蓋板耦合到MEMS慣性器件功能結構上，提升了MEMS慣性傳感器的穩定性，并且有利于提升導航的定位精度。
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    “MEMS慣性傳感器、慣性測量單元及慣性導航系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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