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    PECVD硅片自動上下料機用收片盒及放置裝置

    1240   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:41:07
    本實用新型提供了一種PECVD硅片自動上下料機用收片盒及放置裝置，涉及新能源技術領域，包括收片盒、和放置裝置，放置裝置包括有U形槽、升降板和液壓升降機，U形槽內嵌入設置有升降板，升降板的底部表面中央焊接設置有液壓升降機，U形槽的左側表面外部貫穿設置有進氣管，U形槽的內側表面中央嵌入設置有傾斜管，升降板的上表面中央焊接設置有定位塊，收片盒包括有傾斜底板、海綿層和貫穿槽。本實用新型通過傾斜管的設置使得氣管中的氣體通過進氣管進入到傾斜管從傾斜管吹出，氣體吹出使得硅片從自動上下料機上的軌道上滑落時減輕硅片對收納盒內部表面的撞擊力，且使得硅片與硅片之間不易發生摩擦，從而導致出現劃痕。
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