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    鈮酸鋰晶片/鉭酸鋰晶片局域快速黑化方法

    998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:43:47
    本發明公開了一種鈮酸鋰晶片/鉭酸鋰晶片局域快速黑化方法，包括以下步驟：(1)將拋光后的鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片置于密閉裝置中，然后充滿還原性氣體；(2)按照設定好的圖形，激光欠焦照射鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片，通入惰性氣體排出還原性氣體，得到局域黑化的晶片。所述激光欠焦的參數為：激光波長為1064nm，激光功率為4～10W，欠焦距離為0.50～2.50cm，掃速為100～600mm/s。本發明在還原性氣體氛圍內，采用激光照射鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片，能夠快速實現晶片黑化，同時還可以對黑化的區域進行選擇，達到局域化黑化的目的。
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    加工技術
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