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    6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝

    922   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:43:47
    本發明屬于酸鋰晶片用具技術領域，尤其涉及一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝。本發明公開了一種6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝，其步驟如下：A：切割成厚度0.6-1mm的晶片；B：把晶片裝入還原爐內還原；C：研磨后用超聲波清洗干凈；D：粘片工藝；E：研磨工藝；F：拋光工藝；G：清洗工藝：然后裝盒。本發明采用2次腐蝕去除晶片內部應力，晶片黑化去靜電荷，機械化學法拋光達到超光滑平面，使得各項指標達到TTV<5um，BOW<40um，warp<40um?PLTV>95%適合大批量生產。
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    “6英寸鈮酸鋰晶片或鉭酸鋰晶片的生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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