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    鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導

    1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:46:46
    本申請提供一種鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導。所述方法包括：在鈮酸鋰薄膜樣品中的鈮酸鋰層表面正疇區域上制備具有預設刻蝕形狀的金屬掩膜后，將具備金屬掩膜的待極化鈮酸鋰薄膜樣品接入極化電路，對金屬掩膜覆蓋區域的鈮酸鋰進行疇翻轉，使得金屬掩膜覆蓋區域由正疇翻轉為負疇，利用預設夾具固定住疇翻轉后的鈮酸鋰薄膜樣品，并去除表面的金屬掩膜后，利用刻蝕溶液對疇翻轉后樣品的表面區域進行預設時長的刻蝕，得到鈮酸鋰薄膜波導。整個過程利用正負疇的腐蝕速度差異制備鈮酸鋰薄膜波導，可以較好地控制刻蝕側壁的寬度和質量，制備的波導刻蝕側壁較為光滑，波導損耗較低。
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    “鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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