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鋁酸鋰和摻雜鋁酸鋰晶體多坩堝熔體生長技術

913 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 20:50:07

提供了一種生長鋁酸鋰(γ-LiAlO2)單晶及摻雜鋁酸鋰晶體的多坩堝熔體生長技術,包括:(1)鋁酸鋰原料的合成;(2)將合成的鋁酸鋰原料及經過定向的籽晶裝入坩堝,移至高溫下降爐內,整個系統密封后通電升溫,先后啟動機械泵、擴散泵,抽真空至10-3-10-4Pa,當爐溫達800-1200℃充入惰性保護氣體,繼續升溫至設定溫度1600-1900℃;(3)爐溫達設定溫度后,保溫1-4小時,調節爐膛溫度和坩堝位置使原料及籽晶頂部熔化,實現接種生長,將固液界面溫度梯度設定在10-50℃/cm,坩堝下降速率控制在0.1-3.0mm/h;(4)待晶體生長結束后,進行原位退火處理。本發明的工藝特點在于特殊溫場設計、多坩堝技術、原位退火處理等,優點在于溫場穩定,溫度梯度可調,操作方便,平均能耗低,一爐多產,有利于產業化生產。

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“鋁酸鋰和摻雜鋁酸鋰晶體多坩堝熔體生長技術” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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