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    鈮酸鋰起偏器芯片加工方法

    968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:59:44
    一種鈮酸鋰起偏器芯片加工方法，包括如下步驟：1）對鈮酸鋰晶體進行切割，2）進行研磨拋光，3）采用質子交換退火工藝加工出波導，獲得鈮酸鋰起偏器芯片；其改進在于：步驟1）中，進行切割時，切割面與鈮酸鋰晶體的Y軸方向平行，同時切割面與鈮酸鋰晶體的Z軸方向成一定夾角θ，0°＜θ＜90°；然后采用步驟2）、3）中的工藝，在鈮酸鋰晶片上加工出波導，最終獲得起偏角度與波導面夾角成θ的鈮酸鋰起偏器芯片。本發明的有益技術效果是：在切割鈮酸鋰晶體時就完成了對鈮酸鋰起偏器芯片的起偏角度的調節，對切割工藝造成的影響僅在于調節切刀的角度，但卻使耦合工藝的復雜度得到了大幅縮減，大大提高了耦合工藝的加工效率。
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