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    基于套刻的鈮酸鋰薄膜波導微環制備方法

    797   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:59:46
    本發明提供一種基于套刻技術的鈮酸鋰薄膜波導微環的制備方法。其基本方案為：采用紫外光刻、金屬鍍膜工藝，在鈮酸鋰薄膜基片上制備環波導掩膜；采用紫外光刻套刻、金屬鍍膜和lift?off工藝，在鈮酸鋰薄膜基片上制備直波導掩膜；采用刻蝕法刻蝕鈮酸鋰薄膜基片，將金屬掩膜圖形轉移到鈮酸鋰薄膜層；清洗去除掩膜，得到鈮酸鋰薄膜波導微環器件樣品。采用本發明的方法，將工藝精度從普通的光刻精度優化至套刻精度，即使使用光刻線寬精度為1um以上的普通紫外光刻機，也可以實現間隙要求小于0.8um線寬的微環器件的制備，極大地降低了成本，提高了制備的效率。
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    “基于套刻的鈮酸鋰薄膜波導微環制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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