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    磁控濺射制備超薄金屬鋰薄膜的方法及系統

    972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:01:39
    本發明公開了一種磁控濺射制備超薄金屬鋰薄膜的方法及系統。所述方法包括：至少將基材、金屬鋰靶材置入真空環境，并通過直流磁控濺射方法，在所述基材上沉積形成超薄金屬鋰薄膜。所述系統包括：直流磁控濺射設備、相互配合的至少一放卷機構和至少一收卷機構，以及至少一主輥，所述至少一放卷機構和至少一收卷機構置于第一真空室內，所述至少一主輥置于第二真空室內。本發明采用磁控濺射技術沉積的金屬鋰薄膜厚度更薄，表面更加均勻平整，與基材的粘附性更好，若作為鋰二次電池的負極材料，可使表面電流密度分布更加均勻，從而減少鋰枝晶的生成，提高電池的電化學性能與循環壽命。
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