本發明公開了一種雙偏振模鈮酸鋰直條波導相位調制器及其制備方法。器件主要由鈮酸鋰光波導芯片和保偏尾纖組成,其鈮酸鋰光波導芯片由鈮酸鋰襯底(1)、表面的條形鈦擴散波導區(2)、表面的質子交換區(3)、二氧化硅隔離層(4)及表面的金屬電極(5)所組成。調制器的制備方法包括芯片的制備方法和芯片與保偏尾纖的耦合連接方法兩部分,給出了芯片的制備方法,主要包括條波導區鈦擴散以及在非鈦擴散波導區進行退火質子交換等工藝過程。該芯片結構及制備方法能夠確保器件同時具有較小的損耗和偏振相關損耗。芯片與尾纖的耦合連接方法保證了器件具有低的偏振串音及其性能指標的溫度穩定性。
聲明:
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