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    基于軟質磨料固著磨具的鉭酸鋰拋光方法

    1150   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:03:00
    一種基于軟質磨料固著磨具的鉭酸鋰拋光方法，包括以下步驟：1)基于軟質磨料固著磨具原料的配制；2)將配置好的配料在模具中熱壓成形，脫模后完成熱固化，并對其上下端面進行修整，保證磨具上下端面的平整度和平行度；3)將鉭酸鋰拋光磨具安裝于拋光機的上盤，待加工的鉭酸鋰晶片放置在會旋轉的拋光機下盤，用夾具固定住，啟動拋光機，并在上下盤之間注入堿性水基冷卻液；加工過程中氧化劑、磨粒和鉭酸鋰晶片發生固相反應，在鉭酸鋰晶片表面形成一層軟質的、易去除的反應生成物，利用磨料與生成物層之間的摩擦作用將生成物層去除，從而實現鉭酸鋰晶片的拋光。本發明能夠提高鉭酸鋰晶片的去除率并能降低粗糙度，提高加工效率、降低生產成本。
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