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    實現鈮酸鋰晶體表面導電的制備方法

    816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:03:47
    本發明公開了一種實現鈮酸鋰晶體表面導電的制備方法，具體方法包括以下步驟，S1化學清洗鈮酸鋰晶體基片表面；S2，在鈮酸鋰晶體基片表面生長一層金屬薄膜層；S3，將鈮酸鋰晶體基片放入熱處理爐中，在氬氣和氫氣混合氣體氣氛中恒溫退火處理，退火處理完成后，使鈮酸鋰晶體基片降溫至室溫25℃；S4，將鈮酸鋰晶體基片置于強酸溶液浸泡，然后超純水沖洗去除表面剩余金屬薄膜層，最后甩干鈮酸鋰晶體基片。本方法可與現有集成電路生產工藝流程及工藝設備結合，適合規?；a，且各步驟流程化，操作簡單方便，安全可靠，并可通過精確調節工藝設備參數，可以精確得到不同表面導電性的鈮酸鋰晶體表面。
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    聲明：
    “實現鈮酸鋰晶體表面導電的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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