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    含金屬層Z切薄膜鈮酸鋰材料結構

    997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:03:52
    本發明公開了一種含金屬層Z切薄膜鈮酸鋰材料結構，該材料結構自下到上依次包括：襯底、金屬層、緩沖層、Z切鈮酸鋰薄膜，滿足Z切薄膜鈮酸鋰集成電光調控芯片制造需求。本發明在鈮酸鋰薄膜和襯底之間直接加入金屬層，在電光調控結構應用中，金屬層可直接作為一個電極層置于薄膜鈮酸鋰光波導正下方，與置于薄膜鈮酸鋰光波導正上方電極構建電場，對夾在上下電極中間的薄膜鈮酸鋰光波導進行電光調控，調控電極間距不受限于工藝精度，切電光重疊因子比傳統結構更高，電光調控效率更高。
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    聲明：
    “含金屬層Z切薄膜鈮酸鋰材料結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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