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    基于PFM的鈮酸鋰納米疇加工及成像方法

    845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:04:38
    本發明公開了一種基于PFM的鈮酸鋰納米疇加工及成像方法，首先利用施加第一交流電壓的導電探針掃描鈮酸鋰薄膜表面；其次利用施加第一直流電壓的導電探針對掃描后的所述鈮酸鋰薄膜進行納米疇加工；最后在施加第二交流電壓的導電探針對疇加工后的鈮酸鋰薄膜進行納米疇結構成像的同時，向所述鈮酸鋰薄膜表面施加第二直流電壓。本發明的效果是，在鈮酸鋰納米疇加工前對其施以交流電，能提高鈮酸鋰納米疇的形成概率，從而提高鈮酸鋰納米鐵電存儲器的容量；在鈮酸鋰納米疇成像的同時施以直流電，能顯著提升鈮酸鋰納米疇結構成像分辨率，以驗證是否反轉形成了鈮酸鋰納米疇，以及確定納米疇的大小。
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