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    鋰鈦共摻雜氧化鎳基陶瓷薄膜及其制備方法

    873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:05:42
    本發明提供了一種鋰鈦共摻雜氧化鎳基陶瓷薄 膜及其制備方法，屬于氧化物陶瓷薄膜材料技術領域，適用于 介電薄膜材料。本發明的陶瓷薄膜化學式為： LixTiyNi1－x－yO，其中：x為 0.05～0.5，y為0.02～0.2。采用溶膠－凝膠法制備前驅體溶液， 使用勻膠機制備薄膜，其價格低廉，鋰鈦共摻雜氧化鎳基陶瓷 薄膜材料是一種新型的無鉛電介質薄膜材料，性能穩定。鋰鈦 共摻雜氧化鎳陶瓷薄膜材料具有高的介電常數，頻率為 1000Hz，ε＞100，適合各種高介電常數薄膜器件的要求，在 電介質領域，可用于制造薄膜電容器和動態隨即存取存儲器 DRAM。
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