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    鈮酸鋰光波導的制備方法

    754   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:05:44
    本發明提供了一種鈮酸鋰光波導的制備方法,該方法選用摻鋅或者摻鎂的鈮酸鋰晶體,采用外加電場極化的方法在摻雜鈮酸鋰晶體上制作周期疇反轉結構,以此為波導層,通過折射率低于波導層的光學膠與鈮酸鋰或者鉭酸鋰襯底黏膠鍵合,再用ICP干法刻蝕出脊形波導結構,得到鈮酸鋰波導。本發明采用的膠層與空氣折射率更接近,所以波導中光場限制作用更強且光場呈對稱分布,與單模光纖的耦合效率更高。采用黏膠鍵合,使得晶圓表面潔凈度和粗糙度的要求要遠低于直接鍵合的晶圓表面,工藝上更容易實現。使得此方法制備的鈮酸鋰光波導在增強光場限制作用,降低波導傳輸損耗,抑制光折變效應以及降低制作工藝難度等方面有較優越的性能。
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    “鈮酸鋰光波導的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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