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    采用曲線光波導連接的鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導調制器

    675   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:06:31
    本發明公開了一種采用曲線光波導連接的鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導調制器，包括雙Y分支光波導相位調制器芯片，所述雙Y分支光波導相位調制器芯片包括襯底,所述襯底上依次設有二氧化硅層、光波導層和保護層，所述保護層上設有調制電極；所述光波導層包括鈮酸鋰薄膜層和雙Y分支光波導結構的鈮酸鋰脊形光波導，連接兩個Y分支光波導的過渡光波導為曲線波導。本發明中，過渡光波導采用曲線結構，有效消除了輻射模在光路中耦合形成的串擾和噪聲問題；另外，本發明通過改變鈮酸鋰薄膜光波導芯片的結構，增大了鈮酸鋰脊形光波導與保護層的折射率差，進而增強了對光的束縛能力，使光波導的彎曲半徑大大減小，實現了雙Y分支光波導調制器的小型化。
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