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    基于鈮酸鋰厚膜的高速電光調制器及其制備方法

    1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:06:31
    本發明涉及集成光學領域，特別涉及一種基于鈮酸鋰厚膜的高速電光調制器及其制備方法，所述調制器包括支撐襯底、鍵合層、光波導和調制電極，所述光波導位于鍵合層表面，且鍵合層上設置有一層鈮酸鋰厚膜；鈮酸鋰厚膜的厚度為8～20微米；本發明厚膜型鈮酸鋰的10微米左右的脊高使得調制效率可以提升60％以上且本發明的襯底因為減薄技術僅有8～20微米，可以避免該諧振效應進一步實現高速寬帶；而相比薄膜型波導的鈮酸鋰調制器，本發明又具有擴散型光波導低傳輸損耗和低耦合損耗的優點。
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