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    基于單晶鈮酸鋰薄片的薄膜體聲波諧振器及其制備方法

    1115   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:06:33
    本發明涉及微電子器件領域，具體涉及一種基于單晶鈮酸鋰薄片壓電材料的薄膜體聲波諧振器，以及該諧振器的制備方法。本發明用于克服現有薄膜體聲波諧振器機電耦合系數過低的缺陷，該薄膜體聲波諧振器包括Si襯底，于Si襯底上形成的圖形化鍵合膠支撐層，于鍵合膠支撐層上設置的單晶鈮酸鋰薄片，于鍵合膠間隙中設置的下電極層附著于鈮酸鋰薄片下表面，于鈮酸鋰薄片上表面形成上電極層，所述上電極層、下電極層對應設置。該薄膜體聲波諧振器既能滿足高頻率，也能保持極大的機電耦合系數，能夠達到43％，從而極大的提高了器件傳輸頻率帶寬；且該諧振腔結構簡單、加工重復性好，能夠獲得一致性良好的大規模線列和陣列器件。
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