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    鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋電傳感器、制作方法

    1157   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:06:33
    本發明公開了一種鉭酸鋰敏感元及應用其的紅外熱釋電傳感器、制備方法，包括鉭酸鋰晶圓、底部電極、硅襯底、頂部電極和吸收層。本發明對鉭酸鋰晶圓頂部金屬電極進行圖案化處理，對于單個芯片而言，頂部電極通過硬掩膜設計一分為二，和底部金屬電極共同構成了兩個熱釋電探測器敏感元，蒸鍍有底部電極的鉭酸鋰晶圓和硅襯底鍵合后再減薄，可根據實際應用需求減薄到合適的厚度，性能更優，可根據實際需求采用包括表面貼裝器件貼片封裝等在內的多種封裝形式，封裝形式多樣，頂部電極通過圖案化處理，預留引線鍵合區域，同時設計有對引線鍵合區域的支撐結構，降低工藝制程風險。
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