本發明公開了一種基于鈮酸鋰薄膜的凹槽輔助式聲光調制器,其中,所述聲光調制器包括:鈮酸鋰薄膜層;設置于所述鈮酸鋰薄膜層上的鈮酸鋰薄膜波導和叉指換能器,其中,所述鈮酸鋰薄膜波導的頂部刻有凹槽。由于傳統的基于鈮酸鋰薄膜設計的聲光調制器中采用的光波導結構均為規則的條形波導,規則的條形波導基于表面聲波產生的聲光互作用效率不高,而本發明在鈮酸鋰薄膜波導的頂部刻有凹槽,可以增強鈮酸鋰薄膜波導基于表面聲波產生的形變位移場與波導光學電磁場之間的相互作用,從而解決了現有聲光調制器中聲光互作用效率低的問題。
聲明:
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