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    基于馬赫-曾德干涉的硅基鈮酸鋰薄膜光調制器

    726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:09:47
    本發明提供一種基于馬赫-曾德干涉的硅基鈮酸鋰薄膜光調制器，包括行波電極，鈮酸鋰波導層，下包層，地電極和襯底，所述的襯底上表面覆蓋所述的地電極；所述的地電極上表面覆蓋所述的下包層；所述的下包層上表面覆蓋所述的鈮酸鋰鈮酸鋰波導層；所述的鈮酸鋰波導層上表面覆蓋所述的行波電極；所述的鈮酸鋰波導層包括鈮酸鋰晶體和鈦擴散條波導，所述的鈮酸鋰晶體設置在鈦擴散條波導的下表面中部。本發明的鈮酸鋰波導層的設置，在實現低功耗驅動的同時降低了調制器的尺寸，提高了器件的穩定性，具有制作工藝簡便，器件尺寸小，穩定性好等優點，便于推廣和使用。
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