本發明提供柔性鈮酸鋰薄膜腦電檢測芯片及裝置,該芯片包括:柔性鈮酸鋰基底,柔性鈮酸鋰基底上制作有光波導以及共面行波電極;柔性支撐層,用于為柔性鈮酸鋰基底提供支撐;柔性支撐層表面設置有電極,共面行波電極與該電極電連接。發明中,柔性鈮酸鋰基底以及柔性支撐層具有柔性,能夠更好地和人腦表面貼合;柔性支撐層和人腦表面貼合,柔性支撐層的電極與人腦電接觸,電極采集到腦電信號,傳輸到鈮酸鋰基底上的共面行波電極上,在共面行波電極間形成微弱的電場,引起柔性鈮酸鋰基底折射率發生變化,光從光波導傳輸經過折射率發生變化的調制區域,光程發生改變,在輸出時的相位發生變化;由于遠距離傳輸是使用的光傳輸,不易受到電磁干擾。
聲明:
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