本申請公開了一種弱相位漂移的鈮酸鋰波導,包括鈮酸鋰層、金屬電極以及基底層,所述鈮酸鋰層包括鈮酸鋰中心脊和向鈮酸鋰中心脊兩側延伸的鈮酸鋰延伸面,所述鈮酸鋰中心脊的上表面設有金屬氧化物層,所述基底層位于所述鈮酸鋰層的下表面,所述基底層由硅,二氧化硅,硅和二氧化硅多層材料或者二氧化硅、金屬與硅的多層材料制成,以此進一步達到達到抑制相位漂移的目的。相較于其他參雜或者其他結構,本結構制作方法簡單,同時產生非常好的相位漂移抑制效果。
聲明:
“弱相位漂移的鈮酸鋰波導” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)